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潔凈室，亦稱為無塵室或清凈室，它是污染控制的基礎。沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。特點：1、組裝式結構設計，安裝方便，大大縮短了交貨周期；2、模塊化結構，提高凈化級別容易，擴展性強，且重復利用價值高；3、相對傳統無塵室，成本低、施工快、且對樓層高度低不限。